紧急扩产，这种电子气体需求激增！芯片“血液”频现供应缺口（附股） 速看料

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多种电子气体供应紧张。

韩国科技媒体5月28日报道，韩国化工材料企业PKC，正将其半导体级高纯氯气产能扩大50%，并且在近期已启动扩产工程，年产能将从约1400—1500吨提升至2100—2200吨，投资规模预计达数百亿韩元。

消息称，此次扩产是与三星电子预先商议后敲定，扩产主要原因是随着更高层数NAND闪存量产，刻蚀气体需求激增，同时三星电子对高纯氯化氢的供应需求也在提升。业内人士表示，氯气扩产必须提速，以匹配三星下半年扩大氯化氢采购的计划。

一方面，氯气是半导体刻蚀工艺的关键特种气体，主要用于铝、铜等金属互联层刻蚀，要求纯度达到5N（99.999%）以上的超高纯等级。当前NAND闪存厂商已突破200层，并向300层以上竞争。NAND通道孔刻蚀对氯气的消耗量，显著高于DRAM；在GAA环绕栅极、FinFET等先进代工工艺中，氯气用量同样巨大。

另一方面，氯化氢需求快速增长。氯化氢由氯与氢合成，以氯气为原料，扩产氯化氢必须先提升氯气产能。氯化氢用于晶圆清洗、刻蚀及外延层沉积，可将晶圆表面残留金属离子与氧化物转化为挥发性氯化物去除，逻辑代工需求高于存储器。行业消息称，三星近期要求PKC增加氯化氢供应，并将其应用范围从仅DRAM扩大至全部NAND与代工工艺。

从工业气体概念股表现来看，受供应紧张影响，相关概念股年内大幅上涨。其中，中船特气年内股价涨幅超330%，公司是国内六氟化钨龙头；华特气体、三孚股份、广钢气体等年内股价翻番，其中华特气体是国内电子特气国产龙头，截至2025年底，公司实现进口替代的产品已增至57款。

今年以来，有10家工业气体上市公司获得机构调研，华特气体、金宏气体、广钢气体、中船特气参与调研的机构数均超100家，蜀道装备、杭氧股份、福斯达、正帆科技参与调研的机构均在20家以上。

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校对：盘达